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| 儀器名稱： | 三維原子探針 | 廠商： | CAMECA |
| 型號： | LEAP-5000XP |
購進年份： | 2017 |
| 聯(lián)系人email： | test@ustbtest.com | 聯(lián)系電話： | (010) 6233 3720 |
| 性能參數(shù)： |
最低樣品溫度：25 K 離子收集率：50% 激光能量：1-1000 pJ 空間分辨率：0.1 nm 環(huán)形視場（Al，nm）：> 150 最高脈沖頻率：500 kHz 最大數(shù)據(jù)采集速率：4M ions/min 背底真空（分析室，Torr）: < 1×10-10 質(zhì)量分辨率： 1000 (半高峰寬)；475 (10%峰寬)； 275(1%峰寬) |
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| 功能用途： | 金屬等導(dǎo)電材料，高電阻半導(dǎo)體、氧化物等非導(dǎo)電材料的三維元素分布。 | ||
